AZO target

技术指标(Technical Data)：

成分(Composition)：

AZO靶材比例：98:2、99:1

(可根据客户需求调整)

纯度（Purity）：99.99%，

晶粒尺寸(Grain size)<100um

表面光洁度(RMS)：Ra0.8

满足光伏行业TCO薄膜物理气相沉积（PVD）工艺使用。