AZOY target

技术指标(Technical data)：

纯度(Purity)：99.99%

晶粒尺寸(Grain size)<100um

表面光洁度(RMS)：Ra0.8

靶材尺寸和形状可根据客户要求定制

满足光伏行业TCO薄膜反应式等离子体镀膜（RPD）工艺使用。